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红外退火炉 — (IRLA)

文章来源:西安赛瑞珂仪器仪表有限公司   更新时间:2018-03-07   阅读:2

 

产品特点

  采用国外知名品牌部件:循环水路设计,带过滤部件,延长清洗炉体水路;红外灯管寿命高达5000小时,峰值波长约为1.25微米,炉体工艺镜面抛光。
 
  高精度控温:模糊逻辑PID控温,控温精度可达±0.1℃。
 
  快速控温:高能流密度红外灯设计,24秒内仪器可快速升温至1150℃;同时,炉体的热容小,配合先进的冷却系统,可实现快速降温。
 
  异常报警保护:超温和流量异常时均会自动切断加热,保护炉膛,达到报警的效果。
 
  洁净控温:非电阻炉加热,无绝热保温材料,更适合在洁净环境中使用。
 
  可扩展性:带观察窗,可配CCD,采集光学信号;预留接口,可加载电学测量模块等。
 

 

应用功能

     强诱导体薄膜的结晶化退火
 
     注入离子后的扩散退火
 
     半导体材料的烧成与退火条件研究
 
     快速热退火、热氧化和热氮化
 
     电极合金化
 
     晶向化和坚化
 
     石墨烯等气相沉积
 
     碳纳米管等外延生长
 
     单晶基板热处理

 
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