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薄膜热电参数测试系统(MRS)

文章来源:西安赛瑞珂仪器仪表有限公司   更新时间:2018-02-07   阅读:3

薄膜热电参数测试系统(MRS)
Thin-Film Thermoelectric Parameter Test System
无损检测薄膜材料Seebeck系数和电阻率,测温范围100K~700K


薄膜热电MRS-3
 


薄膜热电MRS-3RT

产品特点

■  专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。
■  测温范围达到100K~700K。
■  采用动态法测量Seebeck系数,避免了静态测量在温差测量上的系统误差,测量更准确。
■  采用四线法测量电阻率。
■  热电偶探针经过严格的筛选配对保证测试结果的准确和稳定。
■  软件操作简单,智能化可实现全自动模式。

测试实例

技术参数

型号

MRS-3

MRS-3RT

温度范围

100K~700K

RT

温控方式

PID程序控制

\

真空度

≤ 1Pa

\

测试气氛

真空

 空气

测量范围

赛贝克系数:S ≥ 8µV/K 电阻率:0.1µΩ•m ~ 1000KµΩ•m

分辨率

赛贝克系数:0.05µV/K 电阻率:0.05µΩ•m

相对误差

赛贝克系数 ≤ 7%,电阻率 ≤ 5%

测量模式

自动

样品尺寸

x :(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm

主机尺寸

采集箱:470x400x140,单位mm     

   变温装置:直径x 460x800mm

170x250x220,单位mm

重量

31.9kg

3.5kg

 
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