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光功率热分析仪(OPA)

文章来源:西安赛瑞珂仪器仪表有限公司   更新时间:2018-02-07   阅读:3


光功率热分析仪(OPA)
Optical Power Thermal Analyzer
世界首台纳米级薄膜材料物性分析仪,低至1nm薄膜材料的检测
 

光功率热分析仪(OPA)

 嘉仪通科技研发的OPA是世界首台纳米级薄膜材料物性分析仪,填补了国际对纳米级薄膜材料无损检测其相变温度和热膨胀系数的技术空白!OPA不仅可用于检测块体,还可检测低至1nm的薄膜材料。
OPA根据材料相变前后光学性质(反射光功率)有较大差异的特性检测材料的相变温度,依据光干涉原理检测透光材料的热膨胀系数,融合了相变温度分析仪和热膨胀系数分析仪的两项功能。
OPA可同时检测材料的相变温度和热膨胀系数两项热力学参数,且进行无损检测,保证样品不被破坏,节约成本。
OPA具有独立知识产权,获得多项技术专利!

应用功能

·各种材料相变温度(融化、软化、晶化等)的实时测定
·新型材料(相变材料、相变储能材料)的稳定性测试及性能优化
·强诱导体薄膜的结晶化退火
·注入离子后的扩散退火
·半导体材料的烧成与退火条件研究
·玻璃基板的均热退火
·热循环试验与热冲击试验
·升温脱离试验与触媒试验

PCA、TEA、OPA 可应用于以下材料:

·NiAl复合薄膜
·二氧化钒薄膜
·PZT铁电材料
·MgO/Ni-Mn-Ga薄膜
·GST相变存储薄膜
·金属Co薄膜
·Al2O3薄膜
·TiN薄膜
·GeTe薄膜
·ZrO2薄膜
·掺Ti的ZnSb薄膜
·SiC薄膜
·显示屏玻璃
·形变记忆合金薄膜

样品满足以下要求:

·尺寸:长x宽 (5-20)x(5-20) ,单位mm   厚度 2.0mm(含基底)以下为宜
·相变温度测试样品,具备光学反射平面
·热膨胀系数测试样品,具备光学反射双平面
·适用于透光材料的热膨胀系数检测
·热膨胀检测样品的热膨胀量≥266nm

应用实例

技术参数

型号

OPA-300

OPA-1200

OPA-1800

温度范围

RT~300℃

RT~1200℃

RT~1800℃

程序升温重复性偏差

1.0%

程序升温速率偏差

1.0%

相变温度测量精密度偏差

3%

相变温度测量正确度偏差

3%

热膨胀系数测量精密度偏差

4.5%

热膨胀系数测量正确度偏差

±15%

最大工作功率

4.0kw

最大升温速度

50℃/s50℃~1200℃、真空氛围),45℃/s℃/50℃~1200℃N₂氛围)

温度一致性

±2.0℃1200℃,真空),±4.5℃1200℃N₂

制冷要求

水冷

相变薄膜材料检测厚度下限

1.0×10-9m

热膨胀分辨率

266nm

主机尺寸

650 x 790 x 1350,单位mm

重量

92.3kg


 

 
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